PSI Trading Co.,Ltd

 

 
작성일 : 14-07-15 16:59
[회전][Motorized Stage] HDS Serise
 글쓴이 : PSI
조회 : 1,785  
   HDS-60YAW.zip (1.1M) [6] DATE : 2014-07-15 16:59:33
   HDS-80YAW.zip (1.2M) [2] DATE : 2014-07-15 16:59:33
   HDS-120YAW.zip (1.2M) [3] DATE : 2014-07-15 16:59:33
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HDS-YAW_p.jpg
 
반도체 웨이퍼의 마커등의 어라이먼트에 사용하는 극소각도 조정용
자동 회전 스테이지 입니다.
 
● 시료마다 미소한 회전 각도를 조정하는 자동 어라이먼트 장치 등의 용도로 최적입니다.
● 구동기구에 볼 나사를 사용해 부품의 마모나 흔들림을 줄이고, 
고내구성을 실현하였습니다.
● 볼 나사에 의한 직선운동을 스틸벨트에 의한 회전운동으로 변환했기 때문에
분해능이나 회전속도는 스트로크 센터와 스트로크 엔드로 차가 발생하지 않습니다.