고분해능의 소형 리니어 인코더를 내장한 자동 스테이지를 전용 컨트롤러로
제어하는 풀클로즈 루프제어 시스템
● 리니어 인코더 신호의 피드백과 마이크로 스탭 구동에 의해 전송 나사 기구 특유의
리드오차를 최소한으로 줄였습니다.
● 선팽창계수의 작은 유리스케일을 사용한 것으로 주위 환경의 변동에도 안정되고
신뢰성 높은 위치결정 시스템을 실현했습니다
● 서브미크론의 저확한 위치결정이 필요로 하는 용도나 온도 드리프트에 의한 재현성의 영향을 받는
장시간 구동용도 등에 최적입니다.
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